- Warszawska Szkoła Doktorska
- Studia doktoranckie
Postęp w modelowaniu procesów MOVPE
Informacje ogólne - News |
Paweł Kempisty z Laboratorium Krystalizacji NL-3 jest współautorem opublikowanego na początku roku artykułu opisującego postęp w modelowaniu epitaksji związków półprzewodnikowych. Praca ukazała się w Crystal Growth & Design, a jej autorami są: Yoshihiro Kangawa, Akira Kusaba, wspomniany Paweł Kempisty, Kenji Shiraishi, Shugo Nitta oraz Laureat Nagrody Nobla z dziedziny Fizyki (2014), Hiroshi Amano. Artykuł jest wynikiem współpracy dwóch wiodących japońskich uniwersytetów (Kyushu i Nagoya) oraz naszego Instytutu. Autorzy proponują model opisujący wzrost azotku galu metodą MOVPE. Model ten uwzględnia i łączy następujące procesy w technologii MOVPE: reakcje w fazie gazowej (1), reakcje zachodzące na powierzchni (2) oraz wbudowywanie w warstwę (3). Jako przykład pokazano bardzo istotną domieszkę azotku galu: węgiel, który nieintencjonalnie wbudowuje się w metodzie MOVPE.
Link do artykułu:
https://pubs.acs.org/doi/10.1021/acs.cgd.0c01564
Link do artykułu:
https://pubs.acs.org/doi/10.1021/acs.cgd.0c01564